AOI基本原理：將掃描圖像與標(biāo)準(zhǔn)圖像進(jìn)行邏輯比較，從而產(chǎn)生缺點(diǎn)信息。掃描圖像是AOI利用光學(xué)原理，將三只燈泡(EKE?21VDC?150W)產(chǎn)生的三束光(一個(gè)直射光,兩個(gè)45o的散射光)通過光纖照射到檢測板上，再使用光學(xué)部件收集反射光形成影像。標(biāo)準(zhǔn)圖像(參考資料)是將CAM資料經(jīng)CRG(Camtek?Reference?Generator,參考資料生成器)處理后傳到AOI或CRP(Camtek?Reference?Processor,參考資料處理器)形成的。